【文件属性】：
文件名称：FMCS（厂务监视管理系统说明）.ppt
文件大小：3.72MB
文件格式：PPT
更新时间：2022-11-07 03:58:01
工厂厂务
FMCS 是 Facility Monitoring Control System 的缩写，其中文为厂务监控系统简称,它是针对目前半导体厂内制程所使用的监控系统, 用途是将厂区内特定的，有危害的，影响制程状态或系统资料进行监控。并将其记录，以供问题即时处理及日后问题分析。