Y2O3/Si界面电学特性研究

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文件名称：Y2O3/Si界面电学特性研究
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更新时间：2023-03-09 05:10:41
首发论文 Y2O3/Si界面电学特性研究，王旭，贾仁需，为了研究不同退火温度对Y2O3/Si界面电学特性的影响，对Y2O3/Si界面做快速热退火处理。用CV和IV方法对Al/Y2O3/Si/Al MOS电容进行电学特性测试�