磁控溅射ZrAIN薄膜的硬度和断裂韧性 (2014年)

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文件名称：磁控溅射ZrAIN薄膜的硬度和断裂韧性 (2014年)
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更新时间：2021-05-22 14:57:03
工程技术 论文 采用磁控溅射技术在钛合金和单晶Si上沉积原子分数x(Al)分别为5％、23％、47％、63％的ZrAlN薄膜，并考察了薄膜硬度和断裂韧性。采用场发射扫描电镜观察截面形貌，X射线衍射(X-Ray Diffraction，XRD)分析物相结构。采用纳米压入仪进行10 mN加载、卸载试验，分析了薄膜的弹塑性变形特性；采用压入法定量比较了薄膜的断裂韧性。试验发现：原子分数x(Al)分别为5％、23％、47％、63％的ZrAlN薄膜对应硬度分别为24．5、40．1、17．1、19．1 GPa；对应断裂韧性分别为1．