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文件名称：四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法
文件大小：258KB
文件格式：PDF
更新时间：2015-07-30 08:45:35
四氯化硅 生产 三氯氢硅
本发明提出一种用于多晶硅副产物四氯化
硅处理的脱酸器，包括：脱酸器本体，所述脱酸器
本体内限定有脱酸腔，所述脱酸器本体的上部设
有尾气出口和脱酸器出料口，所述脱酸器本体的
下部设有脱酸蒸汽入口和脱酸器进料口；和加热
管，所述电加热管设置在所述脱酸器本体上且伸
入所述脱酸腔内。根据本发明的脱酸器用在用多
晶硅副产物四氯化硅生产二氧化硅中，用于分离
与氯化氢分离后的二氧化硅表面附着的氯化氢，
从而得到二氧化硅产品，脱去的氯化氢可以用于
制酸，该脱酸器脱酸效果好，结构简单，成本低。