非晶硅顶电池中的n型掺杂层对非晶硅微晶硅叠层太阳电池性能的影响.pdf

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文件名称：非晶硅顶电池中的n型掺杂层对非晶硅微晶硅叠层太阳电池性能的影响.pdf

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更新时间：2022-09-25 13:47:00

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摘要：采用超高频等离子增强化学气相沉积技术，逐次高速沉积非晶硅顶电池及微晶硅底电池，形成 pin/pin型非晶硅／微晶硅叠层电池