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文件名称：MEMS 麦克风讲义
文件大小：10.03MB
文件格式：PPT
更新时间：2021-02-12 13:03:43
麦克风 MEMS 耳机
MEMS (Micro Electromechanical System，即微电子机械
系统) 是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接
口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来MEMS
具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度
和适于大批量生产.
MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具
有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多
学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所
有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、
材料科学、能源科学等