论文研究-基于C-MEMS的纳米线的制备及其热电性能的研究方法 .pdf

时间:2022-09-16 09:39:32
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文件名称:论文研究-基于C-MEMS的纳米线的制备及其热电性能的研究方法 .pdf
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更新时间:2022-09-16 09:39:32
半导体技术 基于C-MEMS的纳米线的制备及其热电性能的研究方法,徐亮亮,习爽,大量的理论和实验证明,低维化能提高材料的热电性能。通过研究发现氮氧硅纳米线可能具有良好的热电性能。本文主要介绍了基于C-MEMS

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